فناوری پیشرفته تولید دستگاههای لیتوگرافی DUV که سالها در انحصار شرکت هلندی ASML بود، اکنون توسط چین به مرحله تولید رسیده است. منابع آگاه اعلام کردهاند که انتظار میرود اولین نمونههای این دستگاهها در سال جاری میلادی به بزرگترین تولیدکنندگان تراشه در چین، از جمله SMIC و CXMT، تحویل داده شود. بهدلیل حساسیتهای سیاسی و تحریمهای تجاری، نام سازنده دولتی این دستگاهها اعلام نشده است. همچنین، مقیاس تولید اولیه بسیار محدود خواهد بود و تحویل حدود ۵ دستگاه DUV برای سال جاری و ساخت حدود ۲۰ دستگاه برای سال ۲۰۲۷ برنامهریزی شده است.